SRT-300电阻热蒸发镀膜仪 科研实验用全自动微型PVD蒸发台
SRT-300台式电阻热蒸发PVD系统，采用涡轮分子泵真空组件在高真空环境沉积薄膜。配备三组蒸发舟及精密沉积控制系统，非常适合科研实验或新材料研发使用，适用于快速多层金属或合金沉积工艺。
主要特点：
- 即插即用，高抽速成膜快捷方便；
- 三组蒸发舟可快速制作合金膜；
- 预设参数全自动成膜无需人为干预；
- 材料和基板安装方便实用，最大可沉积φ250的膜片。
应用领域：
- 金属和介电膜
- 薄膜传感器的制造
- 光学元件
- 纳米与微电子
- 太阳能电池
主要功能配置：
- φ300mm*200mm(h)圆柱形玻璃腔室
- 6m3 /h涡轮分子泵+双级旋片泵真空获得系统。
- 全量程真空计。
- 三组独立热蒸发舟，不会导致镀材互相污染。
- 两套用于多层薄膜蒸发沉积的直流电源。
- 可选配Co蒸发可沉积合金膜（可选）
- 石英晶体监测系统用于实时厚度测量（1 nm精度）
- 7.5"触摸屏可控制沉积过程和快速数据输入
- 用户友好PLC软件系统，可以通过网络更新
- 配备旋转样品架（可选）
- 2英寸500°C基板加热器（可选）
系统结构：如下图
| 技术指标 | 可选配置和增加配件 |
| 三组蒸发舟和电阻线圈套件 | 350L/s涡轮分子泵系统 |
| 自动记录并生成沉积薄膜参数图 | 大电流电源，用于多源共蒸发 |
| USB端口可将曲线和沉积过程数据传输到PC | 石英晶体传感器 |
| 独立的压力自动控制沉积功率 | 备用玻璃腔室 |
| 极限真空7.0E-7torr(80L/s) | 蒸发源（钨舟、电阻丝热熔锅） |
| 0-100A大电流直流电源，具有短路保， | 2英寸500°C基板加热器 |
| 电源规格：220V-240 V – 50/60 HZ-16A | 样品基板旋转 |
| 尺寸：高60cm×宽65vm×深50cm | MFC质量流量计 |
| 质量：〜60KG |
腔体密封垫片
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更多PVD系统工艺说明可查阅本站点解决方案目录：http://www.singrayvac.com/jjfa
鑫镭真空专业为企业和科研项目制作用于薄膜材料实验的小型PVD系统，提供真空镀膜机的全系统整合、升级和专用系统定制以及真空设备整机维修、安装等服务。质量可靠，提供多个案列参考。
