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真空系统维护与安全指南
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真空的质量由系统中剩余的气体分子数量表示,因为这种高质量的真空是其中残留的分子相对较少的一种。真空主要通过其绝对压力进行测量,但是,在考虑采用哪种类型的测量仪的同时,还必须考虑真空系统的维护和安全性,包括“除气”和污染物的控制。
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